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J-GLOBAL ID:200904021175020183  Research Project code:0550029585 Update date:May. 12, 2009

ナノサイズ薄膜の強度支配因子は何か?

ナノサイズ薄膜の強度支配因子は何か?
Study period:2005 - 2006
Keywords (1):
薄膜,ナノ,残留応力,X線応力測定,シンクロトロン放射光
Researcher representative of the project  (1):
  • 英 崇夫

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