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J-GLOBAL ID:200904021195792689  Research Project code:1816 Update date:Oct. 07, 2013

プラズマナノ科学創成によるプロセスナビゲーション構築とソフト材料加工

Study period:2007 - 2012
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
将来のナノデバイス量産のために、プラズマプロセスを試行錯誤的手法から科学に基づいた手法への質的変換を実現します。そのため、ラジカル・イオン密度、エネルギーのモニタリング技術を有した卓上型コンビナトリアル解析装置を創成し、プラズマナノ科学を構築するとともに、科学に基づいたプロセスデータマップによるプロセスナビゲーションという指導原理を確立します。これにより有機ソフト材料の革新的ナノ加工生産技術を確立します。
Research program: 戦略的創造研究推進事業(チーム型研究)
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Research budget: \0
Parent Research Project (1):

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