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J-GLOBAL ID：200904023487189170 Research Project code：0350015043 Update date：Oct. 20, 2004

Establishment of material evaluation technology by nanoindentation process

ナノインデンテーション法による材料評価技術の確立

Study period：2003 - 2004
Organization (1)：
Investigating Researcher (2)： ,
Keywords (3)：

hardness , elasticity , thin film

Project Organization (1)：

Research program： -

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