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J-GLOBAL ID:200904025599040139  Research Project code:2821 Update date:Oct. 07, 2013

ガスクラスターSIMS基本技術の開発

Study period:2006 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
数千個以上の気体原子で構成される巨大ガスクラスターイオンを一次イオンに利用し、照射損傷の極めて小さい二次イオン質量分析(SIMS)の基本技術を開発します。ガスクラスターイオンの構成原子数と加速電圧を制御することにより、構成原子あたりの運動エネルギーを1eV以下まで低下できるとともに、2次イオン生成率を従来の単原子イオン照射に比べて1~2桁増大させることができます。これらの特長を利用して、有機物分子構造の非破壊計測や1原子層の分解能で深さ方向分析が可能な高性能クラスターSIMSの実現を目指します。
Research program: 先端計測分析技術・機器開発プログラム
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Research budget: \0
Parent Research Project (1):

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