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J-GLOBAL ID：200904025599040139
Research Project code：2821
Update date：Oct. 07, 2013
ガスクラスターSIMS基本技術の開発
Study period：2006 - 継続中
Organization (1)：
Investigating Researcher (1)：
Research overview：
数千個以上の気体原子で構成される巨大ガスクラスターイオンを一次イオンに利用し、照射損傷の極めて小さい二次イオン質量分析(SIMS)の基本技術を開発します。ガスクラスターイオンの構成原子数と加速電圧を制御することにより、構成原子あたりの運動エネルギーを1eV以下まで低下できるとともに、2次イオン生成率を従来の単原子イオン照射に比べて1~2桁増大させることができます。これらの特長を利用して、有機物分子構造の非破壊計測や1原子層の分解能で深さ方向分析が可能な高性能クラスターSIMSの実現を目指します。
Research program：
先端計測分析技術・機器開発プログラム
Ministry with control over the research ：
Organization with control over the research：
Research budget：
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Parent Research Project (1)：
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