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J-GLOBAL ID:200904031335583282  Research Project code:1711 Update date:Oct. 07, 2013

レーザー補助広角3次元アトムプローブの開発とデバイス解析への応用

Study period:2006 - 2011
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
磁気・半導体デバイスのナノ領域の原子分布を3次元的に可視化するために、フェムト秒レーザーにより針状試料表面からイオン化する原子を広い角度で取り込むレーザー補助広角3次元アトムプローブを開発します。同時に、あらゆる試料からアトムプローブ試料を作製する技術を開拓し、これまで解析不可能であった難分析試料ならびに半導体、磁気デバイスの高領域3次元原子分布解析を行う技術を確立します。
Research program: 戦略的創造研究推進事業(チーム型研究)
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Research budget: \0
Parent Research Project (1):

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