Proj
J-GLOBAL ID:200904036076672044  Research Project code:2816 Update date:Oct. 07, 2013

X線円形多層膜ラウエレンズの開発

Study period:2006 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
超精密成膜技術を用いて、高空間分解能かつ高回折効率のX線円形多層膜ラウエレンズを開発します。従来の電子ビームリソグラフィー法に基づくX線レンズの製作では、いずれの性能もほぼ限界に達しており、ナノメータスケールの非破壊構造観察を実現するには、新しい製作法の導入が不可欠です。10nm以下の空間分解能を有するX線円形多層膜ラウエレンズを開発し、究極の電磁波であるX線自由電子レーザーがもたらすX線画像科学における質的変革の一翼を担います。
Research program: 先端計測分析技術・機器開発プログラム
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Research budget: \0
Parent Research Project (1):

Return to Previous Page