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J-GLOBAL ID:200904038518044911  Research Project code:2381 Update date:Oct. 07, 2013

超高速ナノインプリントリソグラフィ技術のプロセス科学と制御技術の開発

Study period:2008 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
次世代微細加工技術としてナノインプリント技術が注目されていますが、集積回路応用にはスループット、CDなどの課題があります。その解決には、ナノインプリントにおける材料・プロセスの科学的な解明と画期的な手法の提案が求められています。本研究課題では、実用性の高いナノインプリントリソグラフィに向けて材料・プロセス技術の開発を行います。
Research program: 戦略的創造研究推進事業(チーム型研究)
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Research budget: \0
Parent Research Project (1):

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