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J-GLOBAL ID:200904045091324574  Research Project code:0250003390 Update date:May. 12, 2009

可変波長レーザーを用いた干渉計ヘッドの開発に関する研究 可変波長レーザーを用いた干渉計測の評価手法に関する研究

可変波長レーザーを用いた干渉計ヘッドの開発に関する研究 可変波長レーザーを用いた干渉計測の評価手法に関する研究
Study period:1997 - 2001
Project Organization (1):
  • 理化学研究所
Researcher representative of the project  (1):
  • 田代英夫(工学基盤研究部長)

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