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J-GLOBAL ID:200904049560096168  Research Project code:9800046600 Update date:May. 12, 2009

液中放電法によるセラミックス系膜形成装置

液中放電法によるセラミックス系膜形成装置
Study period:1993 - 1996
Organization with control over the research:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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