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J-GLOBAL ID:200904079902464667  Research Project code:2873 Update date:Oct. 07, 2013

超高感度極微量質量分析システムの実用化

Study period:2008 - 継続中
Organization (2):
Investigating Researcher (2):
Research overview:
コンタミネーションの影響を最小限におさえるために、「サンプル周りの環境を超高真空化するためのシステムの開発」、「空間分解能の向上を目的として、励起用一次イオン光学系に収差補正技術を応用することによってイオンプローブの微細化」、および「質量分析系とレーザー光学系を含めた部分の改良」の3項目を開発課題とし実用化を達成する。本装置は貴重な宇宙試料を世界に類のみない高精度分析可能とするのみならず、半導体等のnm領域の超微量不純物分析にも応用できる。
Research program: 先端計測分析技術・機器開発プログラム
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Research budget: \0
Parent Research Project (1):

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