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J-GLOBAL ID:200904084177982430  Research Project code:2377 Update date:Oct. 07, 2013

縦型ボディーチャネルMOSFETとその集積プロセスの開発

Study period:2008 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
本研究では、デバイスのボディー領域全体を電流駆動領域とする新概念の縦型構造トランジスタのデバイス技術に加えて、その回路設計・材料・プロセス技術までを一貫して開発します。これにより、平面型MOSFETと比較して、駆動電流特性、リーク電流特性、集積密度を大幅に向上させた半導体LSIの新しいユニバーサル技術プラットフォームを提供することを目指します。
Research program: 戦略的創造研究推進事業(チーム型研究)
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Research budget: \0
Parent Research Project (1):

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