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J-GLOBAL ID：200904097995323543 Research Project code：0250001978 Update date：May. 12, 2009

全体配列制御を用いた先進プロセスに関する研究金属・半導体材料の自己組織化を利用したプロセスに関する研究水素原子をトリガーとしたヘテロ界面初期構造の全体配列に関する研究

Study period：2000 - 2004
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全体配列制御を用いた先進プロセスに関する研究 金属・半導体材料の自己組織化を利用したプロセスに関する研究 水素原子をトリガーとしたヘテロ界面初期構造の全体配列に関する研究