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J-GLOBAL ID：200909005439551266
JST material number (FULL)：N20001197P
JST material number：N20001197
パルス超音速原子状酸素ビームを利用したSi常温酸化法の開発 平成11年 No.09555004
JST material number：
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Identifier of Material (journals)
N20001197
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (2)：
Japanese(JA)
, English(EN)
Publisher：
文部省
Publication place：東京
JST library information (0)：
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