J-GLOBAL ID:200909005778469706   JST material number (FULL):N19932336D   JST material number:N19932336

ラングミュア吸着層を利用した完全選択性を有する異方性エッチング技術の開発 平成4年度 No.03555057

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Identifier of Material (journals)
Material type:Article, Print, zz
Publication frequency: zz
Country of issued:Japan(JPN)
Language (1): Japanese(JA)
Publisher: 文部省
Publication place:東京
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