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J-GLOBAL ID：200909007030678402   JST material number (FULL)：X0760AAW   JST material number：X0760A

Symposium on Ion Implantation and Submicron Fabrication

JST material number：
JST material number
Identifier of Material (journals)
X0760A
Material type：Article, Print, a
Publication frequency： a
Country of issued：Japan(JPN)
Language (1)： English(EN)
JST classification  (1)： 電子工学 (NC)
Editor/ Editing house (3)： 応用物理学会応用電子物性分科会 ,  日本学術振興会 ,  荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会
Publisher： 理化学研究所半導体工学研究室
Publication place：和光
JST library information (7)： Subject to change. Contact us for the latest status.
  • 20th():1989   Holding
  • 19th():1988   Holding
  • 18th():1987   Holding
  • 17th():1986   Holding
  • 16th():1985   Holding
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