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J-GLOBAL ID：200909011251426863
JST material number (FULL)：N19970324E
JST material number：N19970324
二重SOI構造による高温度用加速度センサ 平成7年度 No.06555102
JST material number：
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Identifier of Material (journals)
N19970324
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (2)：
Japanese(JA)
, English(EN)
Publisher：
文部省
Publication place：東京
JST library information (0)：
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