J-GLOBAL ID:200909013165737506   JST material number (FULL):N19960078B   JST material number:N19960078

電子線励起による選択的化学反応を用いた原子オーダの材料プロセスの開発 平成6年度 No.03402024

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Identifier of Material (journals)
Material type:Article, Print, zz
Publication frequency: zz
Country of issued:Japan(JPN)
Language (2): Japanese(JA) ,  English(EN)
Publisher: 文部省
Publication place:東京
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