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J-GLOBAL ID：200909013165737506
JST material number (FULL)：N19960078B
JST material number：N19960078
電子線励起による選択的化学反応を用いた原子オーダの材料プロセスの開発 平成6年度 No.03402024
JST material number：
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Identifier of Material (journals)
N19960078
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (2)：
Japanese(JA)
, English(EN)
Publisher：
文部省
Publication place：東京
JST library information (0)：
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