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J-GLOBAL ID：200909020773015730
JST material number (FULL)：N20032049N
JST material number：N20032049
ULSI極微細・高アスペクト比孔の低損傷形成研究 平成13年度 No.11555179
JST material number：
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Identifier of Material (journals)
N20032049
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (1)：
Japanese(JA)
Editor/ Editing house (1)：
文部科学省
Publisher：
日本学術振興会
Publication place：東京
JST library information (0)：
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