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J-GLOBAL ID：200909029226286107
JST material number (FULL)：N19942482G
JST material number：N19942482
水素終端シリコン表面の初期酸化と極薄金属膜/極薄シリコン酸化膜界面構造の解明 平成4-5年度 No.04452096
JST material number：
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Identifier of Material (journals)
N19942482
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (2)：
Japanese(JA)
, English(EN)
Publisher：
文部省
Publication place：東京
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