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J-GLOBAL ID：200909030431632512   JST material number (FULL)：N19930214K   JST material number：N19930214

公設試験研究機関による技術開発研究について 微小位置決めを目的とした圧電アクチュエータに関する研究 平成3年度成果普及講習会用テキスト 平成2年度技術開発研究費補助事業

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Identifier of Material (journals)
N19930214
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (1)： Japanese(JA)
Publisher： 東京都立工業技術センター
Publication place：東京
Conference organizer (1)：
  • 中小企業庁
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