J-GLOBAL ID:200909031690354225   JST material number (FULL):M20000037C   JST material number:M20000037


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Identifier of Material (journals)
Material type:Proceedings, Print, zz
Publication frequency: zz
Country of issued:Japan(JPN)
Language (1): Japanese(JA)
JST classification  (1): 電子工学 (NC)
Publisher: UCS半導体基盤技術研究会
Publication place:東京
Conference name  (2):
  • 超LSIウルトラクリーンテクノロジーワークショップ, 29th, *, 20000718 -
  • UCTワークショップ
JST library information (0)

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