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J-GLOBAL ID：200909032912977699
JST material number (FULL)：N19900661Z
JST material number：N19900661
薄膜結晶成長における真空システム 化合物半導体をめぐって 日本真空協会昭和60年7月研究例会 予稿集
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Identifier of Material (journals)
N19900661
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (1)：
Japanese(JA)
Publisher：
日本真空協会
Publication place：東京
JST library information (0)：
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