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J-GLOBAL ID：200909035047020480
JST material number (FULL)：N19942011Q
JST material number：N19942011
極高真空の発生・計測・利用技術の開発に関する研究(第2期)成果報告書 平成3-4年度
JST material number：
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Identifier of Material (journals)
N19942011
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (1)：
Japanese(JA)
Publisher：
科学技術庁研究開発局
Publication place：東京
JST library information (0)：
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