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J-GLOBAL ID：200909036416161579
JST material number (FULL)：N19831072W
JST material number：N19831072
窒化物系誘電体膜に関する総合研究 昭和50~52年度
JST material number：
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Identifier of Material (journals)
N19831072
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (1)：
Japanese(JA)
Publisher：
科学技術庁研究調整局
Publication place：東京
JST library information (0)：
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