J-GLOBAL ID:200909036736475903   JST material number (FULL):N19903893N   JST material number:N19903893

プラズマを用いた化学的気化加工法(半導体ウエハー用)を委託開発課題に選定 平成2年

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Identifier of Material (journals)
Series title  (1):
  • 新技術事業団報 -541
Material type:Article, Print, zz
Publication frequency: zz
Country of issued:Japan(JPN)
Language (1): Japanese(JA)
Publisher: 新技術事業団
Publication place:川口
JST library information (1)
  • ():1990   Available

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