J-GLOBAL ID:200909041575173190   JST material number (FULL):L2553ABR   JST material number:L2553A


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Identifier of Material (journals)
Material type:Proceedings, Print, sa
Publication frequency: sa
Country of issued:Japan(JPN)
Language (2): Japanese(JA) ,  English(EN)
JST classification  (1): 無機化学工業 (YB)
Editor/ Editing house (1): 表面技術協会表協エレクトロニクス部会
Publisher: 表面技術協会表協エレクトロニクス部会事務局 ,  電気化学会情報機能材料研究会
Publication place:東京
Previous material name  (1):
  • 情報機能材料研究会・電子材料表面処理技術部会合同研究会資料
Successor material name  (1):
  • 表面技術協会表協エレクトロニクス部会・電気化学会ナノ・マイクロファブリケーション研究会合同研究会
JST library information (5)
  • 2009():2009   Available
  • 2007(Dec):2007   Available
  • 2007():2007   Available
  • 2006():2006   Available
  • 2004():2004   Available

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