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J-GLOBAL ID:200909050100362397
JST material number (FULL):Y0378BAP
JST material number:Y0378B
Proceedings of International Symposium on Dry Process
JST material number:
JST material number
Identifier of Material (journals)
Y0378B
Material type:Proceedings, Print, a
Publication frequency: a
Country of issued:Japan(JPN)
Language (1):
English(EN)
JST classification (1):
電子工学 (NC)
Publisher:
ドライプロセス国際シンポジウム
, 応用物理学会
, 名古屋大学低温プラズマ科学研究センター
, 日本化学会
, 電気化学会
, 電気学会
, 電子情報通信学会
, 放電学会
, プラズマ・核融合学会
, 化学工学会
, 表面技術協会
, 日本表面真空学会
Publication place:*
Previous material name (1):
- Proceedings of Symposium on Dry Process
Website:
http://www.dry-process.org/
JST library information (3)
※:
-
44th():2023
Available
-
43rd (CD-ROM)():2022
Available
-
42nd (CD-ROM)():2021
Available
※Subject to change. Contact us for the latest status.
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