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J-GLOBAL ID：200909052629818860
JST material number (FULL)：N19891192B
JST material number：N19891192
回転対陰極用複合ターゲットの開発 昭和61年度 No.60880014
JST material number：
JST material number
Identifier of Material (journals)
N19891192
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (1)：
Japanese(JA)
Publisher：
文部省
Publication place：東京
JST library information (0)：
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