Mat
J-GLOBAL ID：200909053045442601
JST material number (FULL)：N20072169A
JST material number：N20072169
高分解能マイクロX線回折測定による半導体材料・デバイスのナノスケール歪分布計測 平成17-18年度 No.17360015
JST material number：
JST material number
Identifier of Material (journals)
N20072169
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (1)：
Japanese(JA)
Editor/ Editing house (1)：
文部科学省
Publisher：
日本学術振興会
Publication place：東京
JST library information (0)：
Subject to change. Contact us for the latest status.
Return to Previous Page
