J-GLOBAL ID:200909055565049735   JST material number (FULL):N19990932T   JST material number:N19990932

デジタルMOCVD法によるPZT強誘電体薄膜の作製とそのデバイス応用に関する研究 平成9年度 No.07555418

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Identifier of Material (journals)
Material type:Article, Print, zz
Publication frequency: zz
Country of issued:Japan(JPN)
Language (2): Japanese(JA) ,  English(EN)
Publisher: 文部省
Publication place:東京
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