J-GLOBAL ID:200909067480473080   JST material number (FULL):N19961076S   JST material number:N19961076

Si原子層エッチング表面における自己制限型表面吸着・反応素過程に関する研究 平成7年度 No.06452211

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Identifier of Material (journals)
Material type:Article, Print, zz
Publication frequency: zz
Country of issued:Japan(JPN)
Language (2): Japanese(JA) ,  English(EN)
Publisher: 文部省
Publication place:東京
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