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J-GLOBAL ID：200909069556695030
JST material number (FULL)：N19901981V
JST material number：N19901981
反応性プラズマの制御 平成1年度
JST material number：
JST material number
Identifier of Material (journals)
N19901981
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (2)：
English(EN)
, Japanese(JA)
Publisher：
文部省
Publication place：東京
JST library information (0)：
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