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J-GLOBAL ID：200909073325894304
JST material number (FULL)：N19951191B
JST material number：N19951191
極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御 平成5年度 No.03555061
JST material number：
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Identifier of Material (journals)
N19951191
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (2)：
Japanese(JA)
, English(EN)
Publisher：
文部省
Publication place：東京
JST library information (0)：
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