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J-GLOBAL ID:200909074866580872   JST material number (FULL):N19892812F   JST material number:N19892812

高性能材料開発のための表面・界面の制御技術に関する研究(第2期)報告書 昭和59-60年度 「半導体格子欠陥」および「表面・界面の制御技術」に関するシンポジウム 資料2

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Identifier of Material (journals)
N19892812
Material type:Article, Print, zz
Publication frequency: zz
Country of issued:Japan(JPN)
Language (1): Japanese(JA)
Publisher: 未踏加工技術協会
Publication place:東京
Conference organizer (1):
  • 科学技術庁
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