J-GLOBAL ID:200909076248639869   JST material number (FULL):N19990407S   JST material number:N19990407

マイクロマシーニングによる高性能化光電子集積機能デバイスの試作研究 平成7-9年度 No.07555111

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Identifier of Material (journals)
Material type:Article, Print, zz
Publication frequency: zz
Country of issued:Japan(JPN)
Language (2): Japanese(JA) ,  English(EN)
Publisher: 文部省
Publication place:東京
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