J-GLOBAL ID:200909078647508932   JST material number (FULL):N20031764S   JST material number:N20031764

プラズマアシストCVDによるグラファイト類似炭素薄膜の作製 平成11-13年度 No.11555238

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Identifier of Material (journals)
Material type:Article, Print, zz
Publication frequency: zz
Country of issued:Japan(JPN)
Language (1): Japanese(JA)
Editor/ Editing house (1): 文部科学省
Publisher: 日本学術振興会
Publication place:東京
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