J-GLOBAL ID:200909080945618869   JST material number (FULL):N19890414N   JST material number:N19890414

X線露光用小型電子波動リングを委託開発課題に選定 昭和61年

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Identifier of Material (journals)
Series title  (1):
  • 新技術開発事業団報 -396
Material type:Article, Print, zz
Publication frequency: zz
Country of issued:Japan(JPN)
Language (1): Japanese(JA)
Publisher: 新技術開発事業団
Publication place:東京
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