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J-GLOBAL ID：200909081017242510
JST material number (FULL)：N20031732T
JST material number：N20031732
次世代短波長光リソグラフィーを実現する新真空紫外域光学材料の開発成果報告書(公開版) 平成14年度地域新生コンソーシアム研究開発事業
JST material number：
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Identifier of Material (journals)
N20031732
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (1)：
Japanese(JA)
Editor/ Editing house (1)：
インテリジェント・コスモス研究機構
Publisher：
経済産業省東北経済産業局
Publication place：仙台
JST library information (0)：
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