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J-GLOBAL ID：200909086146937860
JST material number (FULL)：N19930706S
JST material number：N19930706
高品質薄膜形成用トロイダルプラズマ式スパッタ装置の開発 平成4年度 No.03555058
JST material number：
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Identifier of Material (journals)
N19930706
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (2)：
English(EN)
, Japanese(JA)
Publisher：
文部省
Publication place：東京
JST library information (0)：
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