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J-GLOBAL ID：200909086739936429
JST material number (FULL)：N19930115Q
JST material number：N19930115
物質・材料の極微小領域の素機能の計測・評価・制御に関する研究(第1期)成果報告書 平成1-3年度
JST material number：
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Identifier of Material (journals)
N19930115
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (1)：
Japanese(JA)
Publisher：
科学技術庁研究開発局
Publication place：東京
JST library information (0)：
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