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J-GLOBAL ID：200909087945497829   JST material number (FULL)：N20021275S   JST material number：N20021275

故障物理研究委員会研究成果報告書 平成13年度 最新VLSI要素技術(酸化膜と多層配線)の故障物理と信頼性から見たSi半導体技術の限界

JST material number：
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Identifier of Material (journals)
N20021275
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (1)： Japanese(JA)
Publisher： 日本電子部品信頼性センター
Publication place：東京
Conference organizer (1)：
  • 日本小型自動車振興会
JST library information (0)： Subject to change. Contact us for the latest status.

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