J-GLOBAL ID:200909087945497829   JST material number (FULL):N20021275S   JST material number:N20021275

故障物理研究委員会研究成果報告書 平成13年度 最新VLSI要素技術(酸化膜と多層配線)の故障物理と信頼性から見たSi半導体技術の限界

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Identifier of Material (journals)
Material type:Article, Print, zz
Publication frequency: zz
Country of issued:Japan(JPN)
Language (1): Japanese(JA)
Publisher: 日本電子部品信頼性センター
Publication place:東京
Conference organizer (1):
  • 日本小型自動車振興会
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