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J-GLOBAL ID：200909093374071730
JST material number (FULL)：N20082046P
JST material number：N20082046
三次元微細単結晶シリコンプローブを集積化した高機能スマートセンシングチップ 平成17-19年度 No.17206038
JST material number：
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Identifier of Material (journals)
N20082046
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (1)：
Japanese(JA)
Editor/ Editing house (1)：
文部科学省
Publisher：
日本学術振興会
Publication place：東京
JST library information (0)：
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