J-GLOBAL ID:200909093374071730   JST material number (FULL):N20082046P   JST material number:N20082046

三次元微細単結晶シリコンプローブを集積化した高機能スマートセンシングチップ 平成17-19年度 No.17206038

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Identifier of Material (journals)
Material type:Article, Print, zz
Publication frequency: zz
Country of issued:Japan(JPN)
Language (1): Japanese(JA)
Editor/ Editing house (1): 文部科学省
Publisher: 日本学術振興会
Publication place:東京
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