Mat
J-GLOBAL ID：200909093559673051
JST material number (FULL)：N20030977Z
JST material number：N20030977
故障物理研究委員会研究成果報告書 平成14年度 最新VLSI要素技術(酸化膜と多層配線)の信頼性と微細化限界
JST material number：
JST material number
Identifier of Material (journals)
N20030977
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (1)：
Japanese(JA)
Publisher：
日本電子部品信頼性センター
Publication place：東京
JST library information (0)：
Subject to change. Contact us for the latest status.
Return to Previous Page
