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J-GLOBAL ID：200909098655720615
JST material number (FULL)：N19871092S
JST material number：N19871092
ニューセラミックス用超精密平面研削盤の開発 昭和60年度 No.59850028
JST material number：
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Identifier of Material (journals)
N19871092
Material type：Article, Print, zz
Publication frequency： zz
Country of issued：Japan(JPN)
Language (1)：
Japanese(JA)
Publisher：
文部省
Publication place：東京
JST library information (0)：
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