Art

J-GLOBAL ID：201002003122149686   Reference number：79A0121542

Optical properties of AIN epitaxial thin films in the vacuum ultraviolet region.

AlNエピタキシャル薄膜の真空紫外領域における光学的性質

Author (4)： YAMASHITA H ,  FUKUI K ,  MISAWA S ,  YOSHIDA S
Material： J Appl Phys  (Journal of Applied Physics)
Volume： 50  Issue： 2  Page： 896-898  Publication year： 1979 
JST Material Number： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： 薄膜 ,...

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Terms in the title (5)： AlN ,  エピタキシャル ,  薄膜 ,  真空紫外領域 ,  光学的性質