Art

J-GLOBAL ID：201002015913119266   Reference number：80A0112917

A gas chromatographic air analyzer fabricated on a silicon wafer.

シリコンウエハ上に作成したガスクロマトグラフィー空気分析装置

Author (3)： TERRY S C (Stanford Univ., CA) ,  JERMAN J H (Stanford Univ., CA) ,  ANGELL J B (Stanford Univ., CA)
Material： IEEE Trans Electron Devices  (IRE Transactions on Electron Devices)
Volume： 26  Issue： 12  Page： 1880-1886  Publication year： 1979 
JST Material Number： C0222A  ISSN： 0018-9383  CODEN： IETDA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ガスクロマトグラフィー ,...

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Terms in the title (3)： シリコンウエハ ,  ガスクロマトグラフィー ,  分析装置