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J-GLOBAL ID：201002018047637219   Reference number：77A0123509

Ga₂O₃の気相エピタキシャル成長

Author (5)： 森えつ雄 (東大・工) ,  三宅芳彦 (東大・工) ,  松本俊 (東大・工) ,  わし山まさ子 (東大・工) ,  青木まさ治 (東大・工)
Material： Tokyo Daigaku Kogakubu Sogo Shikenjo Nenpo  (東京大学工学部総合試験所年報)
Volume： 35  Page： 155-161  Publication year： 1976 
JST Material Number： F0464A  ISSN： 0371-3067  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： エピタクシー ,...

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Terms in the title (2)： Ga2O3 ,  気相エピタキシャル成長