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J-GLOBAL ID：201002022716192101   Reference number：80A0036619

真空蒸着法によるIn₂O₃透明導電膜

Author (2)： 勝部能ゆき (大阪工技試) ,  勝部しず子 (大阪工技試)
Material： Oyo Butsuri  (応用物理)
Volume： 49  Issue： 1  Page： 2-16  Publication year： 1980 
JST Material Number： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： 真空蒸着 ,...

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Reference (56)：

• 1) E. J. Gillham: Philos. Mag. 46 (1955) 1051.
• 2) A. E. Ennos: Br. J. Appl. Phys. 8 (1957) 113.
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• 4) 金井英三:物性 2 (1961) 127.
• 5) 勝部能之,勝部倭子:真空 9 (1966) 443.

Terms in the title (2)： 真空蒸着法 ,  透明導電膜