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J-GLOBAL ID：201002041980127800   Reference number：79A0152412

Glow discharge phenomena in plasma etching and plasma deposition.

プラズマエッチングとプラズマたい積でのグロー放電現象
Author (1)：
VOSSEN J L

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Material：
J Electrochem Soc  (Journal of the Electrochemical Society)

About J Electrochem Soc


Volume： 126  Issue： 2  Page： 319-324  Publication year： 1979 
JST Material Number： C0285A  ISSN： 0013-4651  CODEN： JESOA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)
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グロー放電

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