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J-GLOBAL ID：201002042745396124   Reference number：78A0208655

Chemical vapor deposition of single-crystalline ZnO film with smooth surface on intermediately sputtered ZnO thin film on sapphire.

サファイア上に中間スパッタされたZnO薄膜上の滑らかな表面をもつZnO単結晶膜の化学蒸着

Author (4)： OHNISHI S ,  HIROKAWA Y ,  SHIOSAKI T ,  KAWABATA A
Material： Jpn J Appl Phys  (Japanese Journal of Applied Physics)
Volume： 17  Issue： 5  Page： 773-778  Publication year： 1978 
JST Material Number： G0520A  CODEN： JJAPA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： 酸化亜鉛 ,...

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Reference (19)：

• 1) C. P. Sandbank and M. B. N. Butler: Electron. Letters 7 (1971) 499.
• 2) D. R. Evans, M. F. Lewis and E. Patterson: Electron. Letters 7 (1971) 557.
• 3) F. S. Hickernell: J. appl. Phys. 44 (1973) 1061.
• 4) T. Shiosaki and A. Kawabata: Appl. Phys. Letters 25 (1974) 10.
• 5) T. Shiosaki, E. Ieki and A. Kawabata: Appl. Phys. Letters 28 (1976) 475.

Terms in the title (6)： サファイア ,  スパッタ ,  ZnO薄膜 ,  ZnO ,  単結晶膜 ,  化学蒸着